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無塵室工程的結(jié)構(gòu)
日期：2025-09-14 04:56
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摘要：
無塵室工程為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。
世界各國均有自定規(guī)格，但普遍依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
